Inventive Simple Solutions

確かな技術と自由な発想 新しいライフスタイルをご提案します


FOUP, FOSB用
真空デシケーター



FOUP, FOSBの真空保管、ガス封入、真空乾燥に最適
コンパクト、ローコスト
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真空サーバ

ロードロック室の真空排気に最適



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業界初、真空ロードポート
VLP(Vacuum Load Port)




応用例 Applications
 
真空EFEM  Vacuum EFEM
真空ベアウェーハストッカー  Vacuum Bare Wafer Stocker
真空ローダー、など  Vacuum Loader



NEWS&TOPICS&Update...新着情報

2018年8月26日
トップページに「真空デシケーター」を追加
2018年7月26日
「湘南ひらつかテクノフェア2018」に出展します
2017年8月25日
トップページに「真空サーバ」追加
2017年5月22日
トップページを「真空ロードポート」に
2016年12月28日
「テクニカルショウヨコハマ2017」に出展します
2016年1月12日
「テクニカルショウヨコハマ2016」に出展します
2015年10月18日
「湘南ひらつかテクノフェア2015」

「産業交流展2015」に出展します
2014年12月21日
「テクニカルショウヨコハマ2015」に出展します
2014年9月12日
「湘南ひらつかテクノフェア2014」

「産業交流展2014」に出展します
2011年12月
真空排気システムで特許取得。
2010年3月
弊社が開発したFOUP用真空ガス置換システム(弊社特許)
"VGX-system"が半導体デバイス工場で採用されました。

バナースペース

有限会社ベック

〒253-0071
神奈川県茅ヶ崎市萩園2291-4

TEL 0467-83-6993
FAX 0467-82-8427















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