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Inventive Simple Solutions

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エコバックシステム

排気時間を短縮する

  シンプルな構成でも効果的
 
バルブとリザーバを追加するだけ
ポンプアイドリング中はリザーバを排気

チャンバを大気圧より排気するときにリザーバと連通(2~3秒)

 複数のリザーバでより効果的に

      運用1:真空ポンプのアイドリング中


アイドリング中真空ポンプのアイドリング中は
複数のリザーバを排気



エネルギーを貯める

 
      運用2:チャンバを大気圧から排気する


チャンバの真空排気
貯めたエネルギーを利用する

チャンバを大気圧から排気する時は

① まず複数のリザーバと順次連通
② その後ポンプで排気する

連通する時間はわずか10


排気速度を動画で確認してください

大気圧から 800 Pa(6 Torr)までの排気時間
   通常排気  60 sec  →動画1  
   エコバック排気  13 sec  →動画2  

   
ドライポンプ: ULVAC DISL-101, チャンバ 15L
エコバックシステムのデモ機

リザーバは真空サーバーとしてライン上のチャンバを真空排気する

リザーバを複数の装置で共用


エコバックシステムの特徴

  • ポンプのアイドリング中の電気(待機電力)を有効に活用することができます
  • 真空ポンプを大容量のポンプにしなくても、粗引き時間が短縮できます
    あるいは、同じ粗引き時間なら
    ポンプを小型化することができます
  • ポンプは大気圧から排気しないので、ポンプ負荷が軽減されます
    ポンプ寿命やメンテナンス間隔が延びます
    水蒸気を含む気体の排気ができます
    ロータリーポンプの場合、オイルミストが激減します
  • 複数の装置でリザーバを共用することができます


エコバックシステムの対象

  • 真空ポンプのアイドリングによる電力ロスが多い装置
  • 粗引き時間の短縮が生産性の向上に寄与する装置
  • (水蒸気を含む)大気~真空を繰り返す装置
  • 具体的には
    • ロードロック室の排気
    • バッチ式真空成膜装置の粗引きライン
    • 電子ビーム溶接機、加工室の排気
    • 真空包装、真空パック、真空脱泡、真空成型、真空ガス置換、真空乾燥、真空注型など

リザーバは複数台に分けるのが効果的

  複数のリザーバ 
 単位:kPa
   CH  RT1
連通前  100  0
連通後  10 10
 
   CH  RT1  RT2  RT3
 連通前  100  0  0  0
 連通1 25      25
 連通2  6.25    6.25  
 連通3 1.56  1.56    

∴ 同じ 9m3のリザーバでも 3m3*3台に分けたほうが効果的です

カタログダウンロードはこちら(pdf)



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