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Inventive Simple Solutions

SERVICE&PRODUCTS

真空サーバー

高効率の真空引きシステム

ライン上のすべての真空機器に真空を供給
(エアコンプレッサーのような使い方)

小さなポンプでも大きな排気速度、間欠排気に最適


真空供給ライン(ユーティリティとして

    


特徴

  • 真空ポンプは負荷の軽い領域で常時リザーバを排気します
     ポンプの台数を減らすことができます
  • ポンプオートストップ機能搭載(圧力計にて設定)
     (エアコンプレッサーのような動作)
  • 粗引き時間(リザーバによる排気時間) → 10 (可変)
     チャンバは RT1(減圧)→RT2(低真空)→RT3(中真空)の順で
     リザーバと連通させます
  • ポンプは大気圧から排気しないので、ポンプ負荷が軽減されます
     ポンプ寿命、メンテナンス間隔が延びます
     油回転ポンプの場合、
    オイルミストの発生が激減します
  • 真空排気システム全体のコストダウン・節電することができます

バナースペース

有限会社ベック

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