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Inventive Simple Solutions

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バッチ式 蒸着・成膜装置への応用

特 徴

低、中真空領域の排気時間を短縮

複数台の装置でリザーバを共用できる

バッチ式成膜装置とエコバックシステムの接続







装置の運転タクトタイムと排気時間の短縮


装置のタクトタイム (sec)

ワーク準備、投入   40
 チャンバ粗引き  230
 チャンバ本引き  120
 プロセス処理  300
 ベント(大気開放)  120
 ワーク取出  40
合 計  850
 ポンプアイドリング時間 合計  200
ロータリーポンプ、メカブのアドリング中はリザーバを排気 (200 sec)


排気時間の短縮

圧力 Pa  排気時間 (sec) 
 現在  導入後
 大気圧~10,000  78 42
 10,000 - 1,000  87  5
 1,000 - 100  22  20
 100 - 10  19  19
 10 - 1  24  24
 合計  230  110

時間短縮= 230 - 110 = 120 sec
装置のタクトタイムの合計 = 850 sec

120 / 850 =
14% 生産性向上


バナースペース

有限会社ベック

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