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Inventive Simple Solutions

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エコバックシステム

 エコバックシステム

業界初の超高速排気システム
大気圧→1 kPa(7.6 Torr)まで
10 秒以内

ポンプを追加することなく装置にアドオン/複数の装置で共用できる
   

社内デモ機の外観

スムーズベントアタッチメント

SVA-25

スローベントからベントへ
圧力(差)に応じてオリフィスがスムーズに変わります

NWセンターリングと寸法互換
NWセンターリングと交換するだけで真空バルブが
スムーズベントバルブに変ります

スムーズ排気(ラフ)にも使えます


FOUP用真空ガス置換システム

VGX-system

○○○○○○○○イメージ

FOUP内酸素濃度の低減が期待できます

真空引きによるFOUP内面およびウェーハ表面の脱ガス効果があります

FOUPの気密性(シール性)に影響されず長時間保管できます


バナースペース

有限会社ベック

〒253-0071
神奈川県茅ヶ崎市萩園2291-4

TEL 0467-83-6993
FAX 0467-82-8427